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來源：京華儀器 來源：ansgo.cn 發布時間：2020-11-18
真空泵(beng)(beng)是(shi)采用機械(xie)或(huo)物理(li)化學(xue)的(de)方(fang)(fang)式來(lai)(lai)(lai)對密閉(bi)容(rong)器進(jin)行抽(chou)氣從而獲取真空的(de)儀器設(she)備，根(gen)據(ju)使用環(huan)境和(he)方(fang)(fang)式的(de)不同，真空泵(beng)(beng)的(de)種(zhong)類(lei)也變得(de)琳瑯滿目(mu)。通常真空泵(beng)(beng)的(de)分(fen)類(lei)都是(shi)按照三個(ge)方(fang)(fang)面來(lai)(lai)(lai)區分(fen)的(de)，分(fen)別是(shi)工作原理(li)、真空度高低(di)和(he)結(jie)構特點(dian)，今天我們就來(lai)(lai)(lai)分(fen)別了(le)解一(yi)下。
一(yi)、工作原理：按照工作原理可分(fen)為氣(qi)(qi)體(ti)轉(zhuan)移式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)和氣(qi)(qi)體(ti)捕獲式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)兩(liang)(liang)種。氣(qi)(qi)體(ti)轉(zhuan)移式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)是(shi)一(yi)種通(tong)過(guo)將(jiang)氣(qi)(qi)體(ti)不(bu)斷的(de)(de)(de)吸入和排出(chu)以此來(lai)達到抽(chou)(chou)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)目的(de)(de)(de)的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)，使用該原理的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)油變容真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)和動量(liang)傳輸真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)兩(liang)(liang)種。氣(qi)(qi)體(ti)捕獲式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)是(shi)通(tong)過(guo)將(jiang)氣(qi)(qi)體(ti)分(fen)子吸附在泵(beng)的(de)(de)(de)內表面(mian)從(cong)(cong)而使密封容器(qi)內部的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)體(ti)分(fen)子減少從(cong)(cong)而達到抽(chou)(chou)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)的(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)，其中代表性的(de)(de)(de)應用有螺桿式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)、分(fen)子真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)、旋(xuan)片式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)、噴射(she)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)和活塞式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)等。
二(er)、真(zhen)空度：除了(le)粗真(zhen)空和低真(zhen)空可(ke)(ke)以(yi)使用(yong)一種真(zhen)空泵完成，高(gao)真(zhen)空以(yi)上的領域一定(ding)要兩(liang)種以(yi)上的真(zhen)空泵機組才可(ke)(ke)以(yi)完成。我們按照真(zhen)空度來進行分類可(ke)(ke)大致(zhi)分為14大類，分別為：
1、高/超真空：低溫(wen)泵(beng)、分子泵(beng)、擴散(san)泵(beng)、鈦(tai)升華泵(beng)、濺射離子泵(beng)。
2、中真(zhen)空：干泵、羅茨泵、油增(zeng)壓泵、雙(shuang)級旋片(pian)泵、水蒸汽噴射(she)泵。
3、粗/低(di)真(zhen)空：液環泵(beng)(beng)、滑閥泵(beng)(beng)、單級旋片泵(beng)(beng)、往復式真(zhen)空泵(beng)(beng)。
三、結構特點(dian)：根(gen)據真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)結構特點(dian)可(ke)分為(wei)機械(xie)(xie)式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)和(he)(he)射(she)(she)流式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)兩(liang)種，通(tong)過機械(xie)(xie)的(de)(de)運動來不斷(duan)改變真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)吸氣容腔容積從而獲得真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)，我們稱之為(wei)機械(xie)(xie)式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)。機械(xie)(xie)式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)有旋(xuan)片泵(beng)、螺桿泵(beng)、羅茨泵(beng)、液(ye)環泵(beng)、往復(fu)式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)和(he)(he)旋(xuan)轉式(shi)(shi)機械(xie)(xie)泵(beng)。噴(pen)射(she)(she)式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)則是利(li)用流體傳遞(di)能(neng)量和(he)(he)質(zhi)量，是由噴(pen)嘴(zui)(zui)、吸入室和(he)(he)擴(kuo)壓(ya)管三部(bu)(bu)分組成(cheng)，本身并(bing)沒有運動部(bu)(bu)件。它的(de)(de)工作原理(li)是利(li)用高(gao)壓(ya)的(de)(de)工作流體從噴(pen)嘴(zui)(zui)高(gao)速噴(pen)出(chu)(chu)(chu)，經過能(neng)量轉換后(hou)在噴(pen)嘴(zui)(zui)的(de)(de)出(chu)(chu)(chu)口形成(cheng)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)的(de)(de)區域(yu)，從而將被抽取的(de)(de)介(jie)質(zhi)吸出(chu)(chu)(chu)來，兩(liang)種介(jie)質(zhi)會在擴(kuo)壓(ya)管內進(jin)行能(neng)量交(jiao)換然后(hou)排出(chu)(chu)(chu)，以此來達到(dao)抽真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)的(de)(de)目的(de)(de)。采用射(she)(she)流式(shi)(shi)的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)有空(kong)(kong)氣噴(pen)射(she)(she)泵(beng)、水蒸氣噴(pen)射(she)(she)泵(beng)和(he)(he)其他類型的(de)(de)擴(kuo)散(san)泵(beng)等。
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